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真空泵发展趋势

作者: 来源: 日期:2016-8-9 10:11:34 人气:13 加入收藏 评论:0 标签:上海真空泵

        真空泵作为半导体制造行业的一种主要的生产设备,愈来愈要求安全可靠。当烃油密封的旋转式真空泵用于光刻去胶等有氧的场合,有时会发生爆炸。原子化的油雾、热的油蒸气、摩擦、压缩、较高的温度、外物、可能的静电等,一旦与氧结合便可能危害环境。而这些因素,真空泵里都有。在泵里采用氮等惰性气体作为气爆,并用氮来减小油箱里的氧浓度(使氧浓度低于25%),可使发生爆炸的危险性减小,这个方法已被半导体制造行业采用.而英国萨西克斯郡Edwards公司则推出了“福姆勃林”(Fomblin)惰性润滑流体,它不管用在什么场合,同氧接触都是没有问题的。

     新的真空泵将更能适应集成电路制造工艺中的腐蚀要求,例如可用陶瓷、耐熔金属和贵金属制造。

        新的泵将保持现在的泵的全部优点而没有现在的泵的缺点。低温泵方面,低温发生器和压缩机两者的总可靠性将有进一步提高。粗抽机械泵方面,清沽度将起码提高一个数量级。据日本一家电子公司估计,在今后的几年里,涡轮泵和低温泵将替代扩散泵,因为它们的清洁度较高。新型的磁悬浮轴承涡轮分子泵将用于半导体制造行业。

        真空泵将会有较多的计算机接口,甚至成为自诊断型。粗抽由于有严重化学腐蚀问题,其有自我监测能力的叶轮泵将替代活塞泵,而活塞泵将成为落后的技术代表。展望50年后,许多半导体制造甚至可以带到外层空间去进行!未来的真空泵将仅仅是工艺处理室后面的一只面向着深远莫测外层空间的阀门而已!

水喷射真空泵的主要用途

①应用于化工制药等行业真空蒸馏、浓缩、脱水、脱色、干燥、结晶、过滤、除气、物料输送、尾气和粉尘的吸收等。

②应用于喷射冷凝二次蒸汽有些工艺过程中会产生大量二次蒸气需要冷凝.同时还有少量不凝性气体亦需排出.才能维持正常生产。这种以冷凝为主、排气为辅.流体在水喷射泵内发生相变的水喷射泵又称为水喷射冷凝器。

③应用于汽-液传质吸收方面 以高速流出的液体与被引射的气体相遇.气流被射流所夹带的过程也是汽-液两相混合的过程。由于水喷射泵气液两相有很大的接触表面,高速射流又具有很大的速度.大大强化了吸收传质中质最交换过程的速度,使化学反应或物质传递过程加速。因此.水喷射泵具有反应器和泵两者的作用.在许多场合被用做吸收传质设备.

④真空泵应用于能量回收方面 在许多大型化工厂和化肥厂,常将还有一定能量的汽或热水排放.造成能源浪费.利用水喷射泵,以少坛高能流体引射低能流体.使流体能址增加.再用于生产过程中。

⑤应用于流体动力传递方而以水喷射泵的高能流体.引射参加反应的低能流体,以代替输送流体用的动力设备。

关键词:上海真空泵

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